 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
||||||||
ВакуумТонкие плёнки.Наверное большинство людей сегодня очень активно используют современную электронную технику(компьютеры). В последнее время произошла существенная миниатюризация электроники, что стало возможным благодаря существенной миниатюризации структурных элементов электронных устройств. Причём миниатюризация структурных элементов дошла до того, что для структурных элементов становится важным размерный эффект (зависимость некоторых свойств объектов от размера(размерный эффект температуры плавления, )). Поэтому в последнее время большое внимание уделяется изучению размерных эффектов. Для исследования размерных эффектов используются модельные объекты, в частности тонкие плёнки. Тонкие плёнки зачастую получаются термическим распылением изучаемого вещества, причём распыление должно осуществляться в высоком, либо сверхвысоком вакууме. Поскольку степень вакуума и эго чистота является важным техническим фактором, определяющим свойства получаемых тонких плёнок, вопросы и методы создания вакуума являются существенным вопросом при исследование поведения различных модельных объектов и в частности тонких плёнок. Описанию методов получения высокого вакуума посвящён сайт Также при напылении тонких плёнок , а также при проведении других экспериментов для которых необходим вакуум, важным является осуществление контроля степени вакуума. Поскольку для контроля вакуума не могут использованы обычные манометры, основанные на измерении силы, приходится использовать манометры, основанные на других принципах, в частности термопарные (контроль форвакуума) и ионизационные лампы(для контроля высокого вакуума). Ещё одним важным вопросом является контроль толщины напыляемой плёнки. Для контроля толщины тонкой плёнки могут быть использованы различные методы, например метод на зависимости собственной часоты кварцеваго резонатора, от его массы. Конечно тонкие плёнки могут быть полученны не только термическим вакуумным распылением, но и другими методами. К ним можно отнесити плазменное, ионное, электронное расспыление. Эти методы обладают как рядом преимуществ, так и недостатками. С помощью ионного и электронного распылений возможно плёнок, состоящих из тугоплавких веществ, к сожалению в сравнении с термическим испарением в данном случае требуется значительно более сложное, дорогостоящее и капризное оборудование. Однако, независимо от применяемого метода создания тонких плёнок, важным условием проведения эксперимента, является получение вакуума. Вакуумные условия напыления тонких плёнок являются чрезвычайно существенными при проведении экспериментов. Наличае значительного числа остаточных газов в системе может привести к загрязнению создаваемой плёнки, даже несмотря на быстрое проведение испарения. Минимально необходимым вакуумом считается вакуум 10^-4 мм. Рт. Ст., однако в этом вакууме влияние остаточных газов ещё очень велико и проведение экспериментов в таком вакууме чрезвычайно ограничено. Основные эксперименты проводятся в вакууме 5*10^-6 мм. Рт. Ст., однако даже в случае такого вакуума, влияние остаточных газов ещё значительно. В целом вопросы тонких плёнок являются чрезвычайно интересными и важными.
|
 |
Сайт оптимизирован для просмотра в браузерах IE
5.0-6.0, Opera 9.01 с разрешением 1024*768 и включенной поддержкой
JavaScript. Чтобы узнать, поддерживает ли ваш браузер JavaScript, а также его тип и версию, нажмите здесь. 2008 © | Все права защищены | Вячеслав Ладанов |
 |
|||
